半导体电容一般是皮法 （pF） 级或纳法（nF） 级。 许多商用 LCR 或电容表可以使用适当的测量技术测量这些值，包括补偿技术。 但是，某些应用要求飞法 （fF） 或 1e-15 级的非常灵敏的电容测量，包括测量金属到金属电容、晶圆上的互连电容、MEMS 器件如开关、或者纳米器件上端子间的电容。 如果没有使用适当的仪器和测量技术，我们很难测量这些非常小的电容。 通过使用工具，如选配 4215-CVU 电容电压单元（CVU）的 Keithley 4200A-SCS 参数分析仪，用户可以测量各种电容，包括《1 pF 的超低电容值。 CVU 设计有独特的电路，通过 Clarius+ 软件进行控制，支持多种特性和诊断工具，确保最精确的测量结果。 通过使用这个 CVU 及适当的技术，用户可以实现超低电容测量，支持几十阿法 （1e-18F） 的噪声。 本文介绍了怎样使用 4215-CVU 电容电压单元进行飞法电容测量，包括怎样进行正确的连接，怎样在 Clarius 软件中使用正确的测试设置来获得最好的测量结果。  连接器件正确连接被测器件 （DUT） 对进行灵敏的低电容测量至关重要。
为获得最好的测量结果，应只使用随机自带的红色 SMA 电缆把 CVU 连接到 DUT。 红色 SMA 电缆的特 性阻抗是 100W。 并联的两条 100W 电缆的特性阻抗是 50W，这是高频源测量应用的标准配置。 随机自带的附件可以使用 BNC 或 SMA 连接连到测试夹具或探头。 使用随机自带的扭矩扳手，紧固 SMA 电缆连接， 确保接触良好。 图 1 显示了 2 线传感的 CVU 配置。 HCUR 和 HPOT 端子连接到 BNCT 形装置连接， 构 成 CVH（HI）；LCUR 和 LPOT 连接在一起，构成 CVL（LO）。 图 2 是 DUT 4 线传感实例。 在本例中，HCUR 和 HPOT 端子连接到器件的一端，LPOT 和 LCUR 端子连接到器件的另一端。 我们使用到器件的 4 线连接， 通过尽可能靠近器件测量电压，来简化灵敏的测量。  图 1. 2 线传感的 CVU 连接。 图 2. 4 线传感的 CVU 连接图。 不管是 2 线传感还是 4 线传感，同轴电缆的外部屏蔽层必须尽可能近地连接到器件上，以使屏蔽层的环路面积达到最小。 这降低了电感，有助于降低谐振效应， 这种效应在 1 MHz 以上的频率时可能会带来负担。 所有电缆要固定好，避免移动，因为在执行偏置测量和实际 DUT 测量之间发生的任何移动，都可能会略微改变环路电感，影响补偿的数据。 在测量非常小的电容时，DUT 屏蔽变得非常重要， 以降低由于干扰引起的测量不确定度。 干扰源可以是 AC 信号，甚至是物理移动。 金属屏蔽层应封闭 DUT，连接到同轴电缆的外壳上。 对低电容测量，最好使用 4 线传感，但如果电缆较短， 并采用了补偿技术，使用 2 线传感也能实现最优测量。 配置 Clarius+ 软件进行飞法测量在 Clarius 软件中设置测量时，需要在 Library 中选择飞法项目，配置测试设置，执行测量。 在 Library 中选择飞法 - 电容项目。 Clarius 软件 Projects Library 中包括一个进行超低电容测量的项目。 从 Select 视图中，在搜索条中输入 “femtofarad”（ 飞法 ）。 窗口中将出现 femtofarad-capacitance（ 飞法 - 电容 ） 项目，选择 Create，在项目树中打开项目。 配置测试设置。 一旦创建了项目， 项目树中会出现 femtofarad-capacitance（飞法 - 电容）项目。 这个项目有两项测试：（1）cap-measure-uncompensated 测试，这项测试用来测量 DUT 的电 容；（2）open-meas 测试，这项测试用来获得线缆和连接的电容。 由于这些电容测量的灵敏度，我们使用与 DUT 测量完全相同的设置，来进行开路测量。 然后从 DUT 的电容测量中减去开路测量。 这种方法在超低 电容测量中可以实现非常好的效果。 为成功地进行低电容测量，一定要在 Configure 视图窗口中相应地调节测量和定时设置。 为进行最优调节， 部分建议如下：测量设置：用户可以控制的部分设置是电流测量范围、AC 驱动电压和测试频率。 这对测量非常重要，因为确定器件电容的公式中涉及到这些项目。 CVU 从 Iac、Vac 和测试频率中计算器件电容，公式如下： 观察公式中的关系，可以推导出最优的设置， 包括电流测量范围、AC 驱动电压和测试频率。 CVU 有三个电流测量范围：1mA、30mA 和 1mA。 对噪声最低的最低电容测量，应使用最低的电流范围：1mA 范围。 AC 驱动电压可能会影响测量的信噪比。 AC 噪声电平保持相对恒定，使用更高的 AC 驱动电压则会生成更大的 AC 电流，从而改善信噪比。 因此，最好使用尽可能高的 AC 驱动电压。 在这个项目中，我们使用了 1 VAC 驱动电压。 对超低电容测量，理想情况是使用大约 1 MHz 的测试频率。 如果测试频率远远高于 1 MHz，那么传输线效 应会提高成功进行测量的难度。 如果测试频率较低， 那么测量分辨率会下降，因为测试频率和电流是成比例的，所以测量噪声会提高。 定时设置：可以在 Test Settings 窗口中调节定时设置。 Speed 模式设置允许用户调节测量窗口。 对超低电容 测量，可以使用 Custom Speed 自定义速度模式设置测量时间，实现想要的精度和噪声。 基本上，测量时间或窗口越长，测量的噪声越少。 噪声与测量时间的 平方根成反比，如下面的公式所示： 通过计算电容测量的标准方差，可以得到噪声。 在 Clarius 软件中，使用 Formulator 可以自动完成这一计算。 cap-meas-uncompensated 测试自动计算噪 声，把得到的值返回 Sheet。 可以在 Test SetTIngs 窗口中，使用 Custom Speed 自定义速度模式调节测量窗口，如图 3 所示。  图 3. Test SetTIngs 窗口中的 Custom Speed 自定义速度模式。 测量窗口的时间可以用下面的公式计算：测量窗口 = （ 模数转换孔径时间 ） * （FilterFactor2 或滤波数 ）  表 1. 1 fF 电容器的测量时间相对于噪声关系。 表 1 列出了 CVU 噪声与测量窗口的关系，其使用 1 fF 电容器连接到 CVU 的端子，在 2 线配置下生成。 我们取 15 个读数的标准方差，使用 0 V DC、1 MHz 和 1 V AC 驱动电压设置获得测量，计算出噪声。 这一数据验证了噪声随测量时间提高而下降。 注意 1 秒及以上测量时间的噪声为阿托法拉或 1 E-18F 级。 每个测试环境中可能要求进行实验，来确定测试的最优测量时间。 执行测量一旦硬件和软件配置完成，我们就可以执行测量。 在理想情况下，4200A-SCS 应预热至少一小时，然后再进行测量。 用下面四步获得补偿后的测量，重复测试结果。 1. 测量器件的电容。 在项目树中选择 cap-meas-uncompensated 测试。 在 Configure 视图中，根据 器件和应用调节测试设置。 运行测试。 2. 测量开路。 在项目树中选择 open-meas 测试。 把 测试设置调节到与 cap-meas-uncompensated 测 试中的测试设置完全相同，包括数据点数和电压阶 跃数。 只断开 CVH （HCUR 和 HPOT） 电缆。 确保未 端接的电缆盖上帽子。 运行开路测试。 3. 分析结果。 在项目树中选择 femtofarad-capaci-tance 项目，选择 Analyze 视图。 图 4 是显示了补偿后的 1 fF 测量的截图。  图 4. Analyze 视图 Sheet 表单和 Graph 示图截图显示了 1 fF 测量。
注意最新电容和开路测量及噪声计算出现在 Sheet 中。 来自项目树中所有测试的 Data Series 出现在屏幕右侧。 如图 5 所示，我们选择了从 capmeas-uncompensated 和 open-meas 测试中获得的 Latest Run 最新一轮测量的 Series List 系列列表。 这意味着 每次执行测试时，Sheet 表单中都会填写最新数据。  图 5. 来自测试的 Data Series。 Formulator 中已经设置了一个公式， 在 Project 级 Analyze 视图表单 Sheet 中， 从 cap-meas-uncompensated 测试数据中减去 open-meas 测试数 据，自动计算补偿后的电容测量。 图表显示了补偿后 的电容随时间变化情况。 Sheet 中的 CAPACITANCE 栏列出了补偿后的测量以及所有读数的平均电容。 图 6 显示了 Latest Run Sheet 最新运行表单数据及电容 测量 （Cp-AB）、时间、噪声、开路测量、补偿后的测 量 （ 电容 ） 和平均电容 （AVG_CAP）。  图 6. Analyze 视图表单 Sheet 中显示的测试数据。 4. 重复测量。 选择 Run，可以从项目级重复测量，将自动计算补偿的读数。 但是，一定不能勾选 open-meas 测试，如图 7 所示。 如果数据以非预期的方式运行，应定期重复采集的开路测量。 这可能是由温度偏移或电缆移动引起的。  图 7. 不要勾选 open-meas 测试，从项目级 Analyze 视图中重复测量。
总结通过使用 Library 项目、正确连接和相应的测量技术 和设置，我们可以使用 4215-CVU 测量飞法级电容。 使用 4215-CVU 及相应的测量窗口，可以实现几十阿托法托及以下的噪声。 如需进一步了解怎样进行电容测量，包括线缆和连接、定时设置、保护和补偿，可以参阅吉时利应用指南“使用 4200A-SCS 参数分析仪进行最优电容和 AC 阻抗测量”.
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